ASML EUV光刻机的工作原理
每台现代笔记本电脑、智能手机、台式电脑、先进的人工智能服务器，或几乎任何其他高科技设备内部，都配备了诸如CPU、GPU、SoC、DRAM和SSD芯片等尖端微芯片，每个芯片内部都集成了数百亿个晶体管。这些微芯片内部的晶体管极其微小，其最小特征尺寸约为10纳米，相当于45个硅原子的宽度。这一科学与工程的壮举看似不可思议，因为一方面，每个微芯片都是由数百亿个晶体管连接而成；另一方面，每个晶体管的尺寸却只有纳米级。此外，这些微芯片无处不在，因此必须能够可靠地进行大规模生产。那么，这样的微芯片究竟是如何制造出来的呢？
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