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扫描电子显微镜(SEM)利用聚焦电子束扫描样品表面,通过二次电子和背散射电子信号成像,实现纳米级分辨率三维形貌观察。它具备景深长、放大倍数连续可调(10~50万倍)的特点,广泛应用于材料科学、生物学和半导体失效分析等领域。
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